Is-haen Wafferi Quartz
Mae swbstradau wafferi cwarts yn wafferi sy'n cael eu gwneud yn bennaf o gwarts purdeb uchel (SiO₂), a ddefnyddir yn eang mewn lled-ddargludyddion, optoelectroneg, systemau electromecanyddol micro (MEMS), dyfeisiau optegol, a meysydd eraill.
Disgrifiad
Priodweddau Materol
- Purdeb Uchel:Yn nodweddiadol wedi'i wneud o chwarts synthetig (ee, silica wedi'i asio), gyda phurdeb uchel iawn (Yn fwy na neu'n hafal i 99.99%) ac ychydig iawn o amhureddau i osgoi effeithio ar berfformiad dyfais.
- Sefydlogrwydd thermol:Cyfernod ehangu thermol isel (≈0.55 × 10⁻⁶/ gradd ) a gwrthiant tymheredd uchel (pwynt meddalu ~1600 gradd ), sy'n addas ar gyfer prosesau tymheredd uchel.
- Perfformiad Optegol:Ystod trosglwyddo eang (UV i IR), gyda throsglwyddiad UV eithriadol, yn ddelfrydol ar gyfer masgiau ffoto, lensys, ac ati.
- Anadweithedd cemegol:Yn gwrthsefyll asidau ac alcalïau (ac eithrio asid hydrofluorig), sy'n addas ar gyfer prosesau ysgythru gwlyb.
- Inswleiddio Trydanol:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), yn ddelfrydol ar gyfer inswleiddio swbstradau neu ddyfeisiau -amledd uchel.
Ceisiadau
Gweithgynhyrchu Lled-ddargludyddion
- Swbstradau Photomask
- Cydrannau lithograffeg EUV
- Cludwyr prosesu wafferi
Ffotoneg ac Optoelectroneg
- Swbstradau tonfeddi optegol
- Mowntio deuod laser
- Cydrannau cyfrifiadura cwantwm
Cymwysiadau Arbenig
- sail resonator MEMS
- Opteg telesgop gofod
- Systemau laser ynni uchel -
Proses Gweithgynhyrchu
- Synthesis Deunydd Crai:Wedi'i gynhyrchu trwy ddyddodiad anwedd (ee, ocsidiad SiCl₄) neu buro cwarts naturiol.
- Toddi a Ffurfio:-toddi tymheredd uchel wedi'i ddilyn gan oeri i mewn i ingotau neu dynnu'n uniongyrchol i wiail.
- Torri:Wedi'i sleisio'n wafferi tenau gan ddefnyddio llifiau gwifren diemwnt neu dorri laser.
- Malu a sgleinio:Mae caboli mecanyddol cemegol (CMP) yn sicrhau llyfnder lefel nanomedr.
- Glanhau ac arolygu:Cael gwared ar ronynnau a halogion metel, ac yna profi namau a pharamedrau.
Priodweddau
|
Priodweddau Corfforol |
Gwerthoedd |
|
Purdeb |
＞99.99% |
|
Dwysedd |
2.2g/cm3 |
|
Tryloywder |
＞90% |
|
Caledwch Mohs |
5.5--6.5 |
|
Pwynt Anffurfio |
1280 gradd |
|
Pwynt meddalu |
1750 gradd |
|
Pwynt anelio |
1250 gradd |
|
Gwres Penodol ( { {0 }} gradd ) |
670J/kg. gradd |
|
Dargludedd Thermol (20 gradd) |
1.4W/m. gradd |
|
Dargludedd Gwres (w / mk, 1000 gradd) |
1.0-1.2 |
|
Mynegai Plygiant |
1.4585 |
|
Cyfernod Ehangu Thermol |
5.510 -7cm/cm. gradd |
|
- tymheredd gweithio poeth |
1750- -2050 gradd |
|
Tymheredd Gwasanaeth - tymor byr |
1450 gradd |
|
Tymheredd Gwasanaeth - tymor hir |
1100 gradd |
|
Priodweddau Cemegol |
Gwerthoedd |
|
Yn gwrthsefyll asid |
Asid Cryf (ac eithrio HF), alcali cryf, hydoddiant organig |
|
Tymheredd uchel Yn gallu gwrthsefyll cyrydiad |
Ardderchog |
|
Cynnwys Amhuredd Metel |
＜5 ppm |
|
Priodweddau Trydanol |
Gwerthoedd |
|
Gwrthedd |
7107Ω.cm |
|
Cryfder Inswleiddio |
250 ~ 400Kv/cm |
|
Cyson Dielectric |
3.7~3.9 |
|
Cyfernod Amsugno Dielectric |
＜410-4 |
|
Cyfernod Colled Dielectric |
＜110-4 |
|
Priodweddau Mecanyddol |
Gwerthoedd |
|
Cryfder Cywasgol |
1100MPa |
|
Cryfder Plygu |
67MPa |
|
Cryfder Tynnol |
48MPa |
|
Cymhareb Poisson |
0.14~0.17 |
|
Modwlws Young |
72000MPa |
|
Modwlws cneifio |
31000MPa |
FAQ
C1: Beth yw maint uchafswm swbstradau wafferi cwarts sydd ar gael?
A: Cynhyrchiad safonol hyd at 300mm o ddiamedr, gyda phrototeipiau 450mm ar gael ar gyfer Ymchwil a Datblygu.
C2: A allwch chi ddarparu proffiliau trwch wedi'u haddasu?
A: Oes - gallwn gynhyrchu:
- Wafferi lletem (ar gyfer cymwysiadau laser)
- Dyluniadau taprog manwl gywir
- Mesa-arwynebau strwythuredig
C3: Pa brotocol glanhau ydych chi'n ei argymell?
A: Proses lân safonol RCA:
1. Tynnu organig (H₂SO₄:H₂O₂)
2. Glanhau ïonig (HCl:H₂O₂)
3. HF-yn olaf ar gyfer arwyneb hydroffilig
Tagiau poblogaidd: swbstrad wafferi cwarts, gweithgynhyrchwyr swbstrad wafferi chwarts Tsieina, cyflenwyr, ffatri
Anfon ymchwiliad
Fe allech Chi Hoffi Hefyd
